2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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11:30 〜 11:45
[8a-E203-7]
SbドーピングしたエピタキシャルMg
2
Si薄膜の作製と熱電特性評価
〇(M1)川添 敬介
1
、栗山 武琉
1
、根城 虹希
1
、岩下 智洋
1
、鵜殿 治彦
1
、坂根 駿也
1
(1.茨城大学)
キーワード:
熱電材料、シリサイド
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