2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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10:00 〜 10:15
[8a-E217-1]
単一原料を用いた真空蒸着法によるMg
3
Sb
2
およびMg
3
Bi
2
のエピタキシャル成長
〇岩下 智洋
1
、栗山 武琉
1
、根城 虹希
1
、川添 敬介
1
、鵜殿 治彦
1
、坂根 駿也
1
(1.茨大)
キーワード:
熱電材料、Zintl 層、薄膜
従来の手法に比べて簡便な成膜プロセスである真空蒸着法を用いて単一原料からエピタキシャル薄膜の作製を行った.
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