[8a-E311-1~4] 8.3 プラズマナノテクノロジー

11:45 〜 12:00

[8a-E311-4] スパッタリングGeナノ複合膜の堆積とLiイオン電池負極への応用

〇内田 儀一郎¹、藤掛 大貴² (1.名古屋大院工、2.名城大理工)

キーワード：

半導体ナノ構造膜