2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[8a-PA3-8]
Li 平板による EUV 光源のスペクトル線幅と高速イオン計測
〇山本 隼也
1
、矢澤 隼斗
1
、長浜 直輝
1
、髙井 悠太
1
、東口 武史
1
(1.宇都宮大)
キーワード:
極端紫外光 (EUV)、レーザー生成プラズマ、リチウム
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