講演情報

[8a-PA3-8]Li 平板による EUV 光源のスペクトル線幅と高速イオン計測

〇山本 隼也1、矢澤 隼斗1、長浜 直輝1、髙井 悠太1、東口 武史1 (1.宇都宮大)

キーワード:

極端紫外光 (EUV)、レーザー生成プラズマ、リチウム