2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[8a-PB1-35]
厚みすべりモード共振子の高次モード共振における液体負荷特性の測定
〇高柳 真司
1
、硲 直樹
1
、川俣 皓輝
1
、柳谷 隆彦
2
(1.同志社大、2.早稲田大)
キーワード:
厚みすべりモード、共振子、圧電薄膜
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