2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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18:00 〜 18:15
[8p-E214-18]
スパッタGaN薄膜の堆積後アニールによるイエロールミネッセンス(YL)の制御とシンチレーション特性
〇冨永 雄太
1,2
、加藤 匠
2
、西川 晃弘
2
、宮﨑 慧一郎
2
、上岡 義弘
3
、尾崎 瑠来
3
、召田 雅実
3
、中内 大介
2
、河口 範明
2
、柳田 健之
2
(1.福岡大工、2.奈良先端大、3.東ソー(株))
キーワード:
シンチレータ、半導体、GaN
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