講演情報
[8p-F212-1]高温オペランドKFMによる積層セラミックコンデンサの絶縁劣化に関する研究
〇永吉 麻衣子1,2、小林 圭2 (1.京セラ、2.京大工)
キーワード：
積層セラミックコンデンサ、⾛査プローブ顕微鏡、ケルビンプローブ顕微鏡
積層セラミックコンデンサ（MLCC）の絶縁劣化現象考察のために、ケルビンプローブフォース顕微鏡（KFM）を用いて、高温下で電圧を印加した時の電位分布を評価した。実験は室温から200oC以上において行った。室温ではアノードからカソードにかけて階段状の電位分布が見られたが、200oC以上ではアノード側とカソード側で電位勾配に差が生じた。当日はこれらの結果から高温下における電子の移動について議論する。