講演情報
[8p-PB2-3]相転移に伴う体積収縮を利用した MnTe 微粒子の作製
〇柿本 翔吾1,2、英 友真1,2、桑原 正史2、沖村 邦雄3、坂井 穣4、坂本 文孝1、津田 裕之5、片野 諭1 (1.東洋大理工、2.産総研、3.東海大工、4.豊島製作所、5.慶応理工)
キーワード：
MnTe、相転移材料、微粒子
II-VI 半導体は優れた光学特性を有し、量子ドットを用いた発光素子への応用が広く研究されている 。我々は相転移材料かつII-VI 半導体の一つである MnTe という材料に着目した。β相からα相への相転移時に約20%の体積収縮を伴い、この大きな体積変化が膜の微粒子化に有利と考えた。本研究では、スパッタリング法による成膜と加熱処理を組み合わせ、MnTe微粒子の作製を試みた。本発表では、原子間力顕微鏡（AFM）による評価結果について報告する。