講演情報
[8p-S5-1]GHzバーストモードフェムト秒レーザー照射におけるアブレーション痕を用いたビーム径評価の妥当性と評価領域依存性
〇(DC)川端 祥太1,2、小幡 孝太郎1、宮地 悟代2、杉岡 幸次1 (1.理研 光量子、2.東京農工大)
キーワード：
フェムト秒レーザー、GHzバーストモード、アブレーション
D²法は、アブレーション痕を用いて集光ビーム径を簡便に評価できることから、レーザー加工分野で広く利用されている。しかし、カメラ型ビームプロファイラによる直接測定との比較に基づく妥当性検証は十分に行われていない。本研究では、GHzバーストモードを含む種々のフェムト秒レーザー照射条件下でD²法の適用性を体系的に評価した。その結果、アブレーション痕の定義によって見積もられるビーム径が大きく異なり、特にGHzバーストモード照射では熱蓄積等の累積効果によりD²法で仮定される一定の加工閾値が成立せず、見積もられるビーム径が実際の光学的ビーム径から大きく乖離する可能性が示唆された。