[8p-S5-1~9] 3.6 レーザープロセシング

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[8p-S5-6] 深層学習シミュレータを用いた ガラス微細穴加工におけるクラック抑制の最適化

〇中川 耕太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：

半導体、レーザー加工、ガラス