[9a-C213-1~13] 3.8 テラヘルツ全般

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[9a-C213-10] テラヘルツ帯フォトニック集積回路に向けたシリコンサブ波長格子導波路に基づく微小電気機械式テラヘルツスイッチ

〇千葉 滉平¹、金森 義明¹ (1.東北大工)

キーワード：

サブ波長格子、フォトニック集積回路、微小電気機械システム

テラヘルツ帯フォトニック集積回路（THz-PICs）用の電気機械式スイッチにおいて、従来のリボン導波路は機械的柔軟性と光閉じ込めのトレードオフから小型化が困難であった。本研究では、細い梁で支持したシリコンサブ波長格子導波路による新規構造を提案・実証した。作製した素子は印加電圧85 Vで318 µmの曲げ変位を達成し、300 GHzにおいて消光比24 dBのスイッチング特性を計算により確認した。