講演情報
[9a-E201-6]ペロブスカイト/CIGSタンデム太陽電池のイオン研磨断面評価
〇陶山 直樹1、水嶋 千尋1、齊藤 公彦1、石塚 尚吾2、西田 竹志2、上川 由紀子2、石川 亮佑1 (1.都市大総研、2.産総研)
キーワード：
ペロブスカイト/CIGSタンデム太陽電池、イオン研磨断面、走査型電子顕微鏡
ペロブスカイト/CIGSタンデム太陽電池の断面評価にArブロードイオンビーム（BIB）加工を適用した。傾斜割断および低加速電圧加工によりPVK膜の加工損傷を抑制し、高品質な断面観察を実現した。さらに、PVK製膜時のレベリング過程評価に適用し、膜厚むら、PbI₂析出および結晶粒形態と下地形状との相関を明らかにした。イオン研磨断面評価はセル特性と断面形態の相関解析および製膜プロセス解析に有効であることを示した。