[9a-E308-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

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[9a-E308-1] 大気圧マイクロプラズマジェットの活性種生成における電源周波数依存性

〇國岡 渓太¹、白藤 立¹、呉 準席¹、八田 章光² (1.大阪公立大学工、2.高知工科大工)

キーワード：

大気圧プラズマ、短寿命活性種、長寿命活性種

本研究では、大気圧マイクロプラズマジェットの電源周波数を変化させ、電圧・電流特性および発光分光など基礎的な放電特性を評価した。さらに、メチレンブルー分解量から短寿命活性種生成量を、プラズマ活性水から長寿命活性種量を定量評価した。加えて電気的特性から電力効率を算出、活性種の生成効率を見積もった。その結果、活性種生成に明確な周波数依存性がみられ、中間周波数帯で生成量、生成効率が高くなる傾向を確認した。