講演情報
[9a-E308-2]マイクロホローアレイ電極を用いた開放系大気圧アルゴンプラズマの放電特性
〇谷口 文哉1、矢内 啓資1,2、白藤 立1、呉 準席1 (1.大阪公立大工、2.旭ポリスライダー)
キーワード：
大気圧プラズマ、プラズマ処理
非平衡大気圧プラズマは高分子材料の表面改質や液体処理への応用が期待される．本研究では，マイクロホローアレイ電極を用いた大気圧アルゴンプラズマ装置を開放系へ改良し，その放電機構を調査した．開放型では放電維持電圧が上昇する一方，放電はマイクロホロー内に安定して保持された．発表では，大気圧アルゴンプラズマの光学的・電気的特性や放電機構の詳細についても報告する．