[9a-E310-1~11] 18.3 計測インフォマティクス

9:45 〜 10:00

[9a-E310-4] ドメイン特化型小規模言語モデルとAI計測ツールの統合による走査型プローブ顕微鏡の自律実験

Diao Zhuo¹、松本 幸真¹、Hou Linfeng¹、大原 正裕¹、山下 隼人²、〇阿部 真之¹ (1.阪大基礎工、2.静岡大工)

キーワード：

走査型プローブ顕微鏡、自律実験、大規模言語モデル

走査型プローブ顕微鏡（SPM）の自律化に向け、ドメイン特化データでファインチューニングした小規模言語モデル（SLM）を汎用GPUでローカル運用し、AI計測ツールと統合した自律実験フレームワークを構築した。SLMは高レベル指示から探針修復やドリフト補正を含む計画を立案・実行し、Si(111)-(7×7)の室温原子分解能イメージングに成功した。本手法は装置非依存であり、精密計測への展開が期待される。