2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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9:45 〜 10:00
奨励賞エントリー
[9a-N302-4]
結合交差構造を用いたSi-SiN導波路間光結合の解析
〇吉見 拓展
1
、岩本 敏
2,3
、太田 泰友
1
(1.慶應大、2.東大先端研、3.東大生研)
キーワード:
結合交差導波路、窒化シリコン、スロット導波路
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