講演情報

[9a-N302-4]結合交差構造を用いたSi-SiN導波路間光結合の解析

〇吉見 拓展1、岩本 敏2,3、太田 泰友1 (1.慶應大、2.東大先端研、3.東大生研)

キーワード:

結合交差導波路、窒化シリコン、スロット導波路