講演情報
[9p-C310-7]Ti系酸化膜の屈折率に及ぼすMn添加量の影響
〇村田 健太1、戸塚 巡1 (1.大同研究)
キーワード：
TiO2、スパッタリング、高屈折率膜
反射防止膜は高・低屈折率膜の交互積層構造からなり、高屈折率膜の屈折率向上により積層数削減によるプロセスコスト低減が期待される。Ti酸化物は安定相：ルチル相へ制御することで高屈折率(2.6以上)の実現が期待される。本研究ではTi酸化物のルチル相への変態促進を目的とし、Mn添加量が光学特性および構造に及ぼす影響を評価した。結果、300℃加熱時にMn添加による酸素欠陥導入による屈折率向上が確認された。