講演情報
[9p-E202-5]抵抗率制御によるポーラスシリコンナノワイヤー負極の微細構造変化と電池特性
〇(M2)白井 颯馬1、加藤 慎也1 (1.名工大院工)
キーワード：
リチウムイオン電池、シリコン負極、シリコンナノワイヤー
本研究では、MACE法によるポーラスシリコンナノワイヤー(PSiNW)負極のサイクル特性向上に向けて出発材料であるn型Siウエハの抵抗率が微細構造や電池特性に与える影響を調査した。作成したPSiNWをTEMおよびガス吸着法で構造評価した結果、低抵抗ウエハほど側壁エッチングが促進され、高密度な多孔質構造が形成されることを見出した。この構造変化が応力を緩和し、サイクル特性を向上させることを実証した。