[9p-E218-1~16] 13.8 光物性・発光デバイス

15:30 〜 15:45

[9p-E218-9] LH-PD法とPL法を用いたSi中の鉄関連欠陥の解離過程解析

〇松川 嵩介¹、佐々木 駿²、門野 武²、栗田 一成^2,3、福山 敦彦¹ (1.宮崎大工、2.株式会社SUMCO、3.九州大)

キーワード：

非発光再結合、発光再結合、鉄汚染