[9p-PB1-1~22] 12.1 作製・構造制御

[9p-PB1-21] 溶液塗布熱分解法により作製したGa₂O₃薄膜を用いたEGFET型尿素センサ

〇(M2)松尾 涼佑¹、広藤 裕一¹、小池 一歩¹、廣芝 伸哉¹ (1.大阪工大・ナノ材研)

キーワード：

バイオセンサ、酸化ガリウム、拡張ゲート型電界効果トランジスタ