講演情報
[9p-PB9-3]イベントカメラを用いたナノ秒パルス放電の発光時系列観測の基礎検討
〇中村 隆央1、川人 大希1、斉藤 友貴哉1、田中 泰生2、小塩 太嗣2、西村 海星2、古里 友宏2 (1.東京エレクトロン、2.長大工)
キーワード：
ナノ秒パルス、イベントカメラ
ナノ秒パルス放電は排ガス処理といった産業応用がされている。そのため、より高効率なパルス生成に向けた様々な計測がされており、中でも発光強度の観測は放電物性やメカニズムの把握に重要である。イベントカメラは高時間分解能、高ダイナミックレンジを特徴とする画素ごとの輝度変化を非同期に記録するカメラである。本研究では現象把握に向けて、イベントカメラでナノ秒パルス放電の発光を空間的な時間発展で観測した結果について報告する。