[J132p] 加工技術の最前線［ポスター］

[J132p-08] CMPプロセスにおけるパッド表面基準コンディショニング技術の開発

〇伊藤 琢朗¹、藤田 隆²、岡本 海太¹ (1. 近畿大学大学院、2. 近畿大学)

キーワード：

ＣＭＰ、ファイバーコンディショナ、微細コンディショニング、長寿命化