[J132p] 加工技術の最前線［ポスター］

[J132p-20] 光空間周波数フィルタを用いたレーザ逆散乱法によるうねり計測に関する研究

〇谷ノ上 樹生¹、板倉 聡史¹、上野原 努¹、水谷 康弘¹、高谷 裕浩¹ (1. 大阪大学)

キーワード：

レーザ逆散乱法、うねり計測、光空間周波数フィルタリング、インプロセス計測、3次元計測