講演情報

[J133p-02]一方向磁場印加形高速原子ビーム源の試作

〇大島京祐¹、野村航¹、加藤泰成¹、岡智絵美¹、櫻井淳平¹、秦誠一¹ (1. 名古屋大学)

高速原子ビーム、表面活性化接合、基板接合、Arプラズマ