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日本機械学会 2023年度年次大会
2023年9月3日
〜9月6日
東京都立大学（南大沢キャンパス）
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日本機械学会 2023年度年次大会
詳細情報
日本機械学会 2023年度年次大会
2023年9月3日
〜9月6日
東京都立大学（南大沢キャンパス）
[J133p-02]
一方向磁場印加形高速原子ビーム源の試作
〇大島 京祐
1
、野村 航
1
、加藤 泰成
1
、岡 智絵美
1
、櫻井 淳平
1
、秦 誠一
1
(1. 名古屋大学)
キーワード：
高速原子ビーム、表面活性化接合、基板接合、Arプラズマ
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