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日本機械学会 2023年度年次大会
2023年9月3日
〜9月6日
東京都立大学（南大沢キャンパス）
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日本機械学会 2023年度年次大会
詳細情報
日本機械学会 2023年度年次大会
2023年9月3日
〜9月6日
東京都立大学（南大沢キャンパス）
[J133p-04]
表面活性化接合における炭素凝集体排出のインプロセス計測
〇福井 大将
1
、加藤 泰成
1
、大島 京祐
1
、岡 智絵美
1
、櫻井 淳平
1
、秦 誠一
1
(1. 名古屋大学大学院工学研究科)
キーワード：
表面活性化接合、高速原子ビーム源、炭素凝集体、接合欠陥、インプロセス計測
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