[J133p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用［ポスター］

[J133p-06] 高速原子ビームによる酸化膜除去量のシミュレーション推定

〇高松 佑哉¹、大島 京祐¹、加藤 泰成¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

表面活性化接合、高速原子ビーム源、プラズマシミュレーション