日本機械学会
過去のプログラム
English
ご利用ガイド
日本機械学会 2023年度年次大会
2023年9月3日
〜9月6日
東京都立大学（南大沢キャンパス）
戻る
イベント一覧
日本機械学会 2023年度年次大会
詳細情報
日本機械学会 2023年度年次大会
2023年9月3日
〜9月6日
東京都立大学（南大沢キャンパス）
[J133p-06]
高速原子ビームによる酸化膜除去量のシミュレーション推定
〇高松 佑哉
1
、大島 京祐
1
、加藤 泰成
1
、岡 智絵美
1
、櫻井 淳平
1
、秦 誠一
1
(1. 名古屋大学)
キーワード：
表面活性化接合、高速原子ビーム源、プラズマシミュレーション
戻る
