[MM12-3] MM-12：ナノ力学 －ナノの視点で次世代の材料力学を創成－

13:00 〜 13:15日本語

[MM12-3-03] GaNの化学機械研磨に関する機械学習分子動力学解析　-Ga面とN面の比較-

*谷村 瞭¹、LEELAPRACHAKUL Tatchaphon²、増谷 浩一³、高東 智佳子³、福永 明³、梅野 宜崇² (1. 東京大学、2. 東京大学生産技術研究所、3. 荏原製作所)

キーワード：

分子動力学法、機械学習ポテンシャル、材料除去、窒化ガリウム