[MPC-3-1] MPC-3：表面改質およびコーティング

9:45 〜 10:00日本語

[MPC-3-1-04] PBII&D法によるND含有DLCの作製に及ぼす印加電圧の影響

*新原 晴太¹、井筒 力弥¹、田中 一平¹、木本 訓弘²、原田 泰典¹ (1. 兵庫県立大学、2. （株）ダイセル)

キーワード：

DLC、プラズマCVD、ナノダイヤモンド