[MPC-3-1] MPC-3：表面改質およびコーティング

10:00 〜 10:15日本語

[MPC-3-1-05] 水素化アモルファス炭素膜の金属基板へのレーザー転写時に発生するデブリの評価

*曾 慎之¹、白 寅圭¹、長谷 嘉琉¹、赤坂 大樹¹ (1. 東京科学大学)

キーワード：

水素化アモルファス炭素膜、レーザー転写、デブリ、ラマン分光法