[MPC-3-1] MPC-3：表面改質およびコーティング

10:15 〜 10:30英語

[MPC-3-1-06] Microstructure Fabrication of Hydrogenated Amorphous Carbon Films by Laser Irradiation

*Ingyu Baek¹, Shenzhi Zeng¹, Akasaka Hiroki¹ (1. Institute of Science Tokyo)

キーワード：

Hydrogenated Amorphous Carbon Film、Laser Irradiation、Defocus Distance、Microstructure