[MPC-3-3] MPC-3：表面改質およびコーティング

13:45 〜 14:00日本語

[MPC-3-3-05] 磁場援用プラズマCVDを用いた小径円筒への均一DLC膜作製

*佐向 亮¹、赤坂 大樹¹ (1. 東京科学大学)

キーワード：

DLC膜、小径管、プラズマ化学気相成長、磁場