講演情報

[C4-02]微小流量計に用いる細管の光学的内径計測手法の検証

*舟久保 瞭乃介1、文字 秀明1 (1. 筑波大学 システム情報系)

キーワード:

微小流量、細管、光学的内径計測、測定精度、非接触計測