[RoomD: 1D01-04] 1D01-04

9:40 〜 10:00日本語

[1D03] ポリシラザンへのVUV光照射により得られる光緻密化SiNx薄膜とそれを用いた水蒸気ハイバリアフィルム

宋 侣洋¹、孫 鶴¹、*硯里 善幸¹ (1. 山形大INOEL)

キーワード：

光緻密化、水蒸気バリア、ポリシラザン