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[C-3_C-4-04]IR カメラを用いた Si リング共振器センサアレイの一括評価

〇△渡邊 響1、望月 勇佑1、蓮見 真彦1、清水 大雅1 (1. 東京農工大学)
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キーワード:

センサ、リング共振器、シリコンフォトニクス