講演情報
[C-3_C-4-14]エアクラッド構造を有するInP/Siハイブリッド導波路型フォトダイオード
〇沖本 拓也1,2,3、御手洗 拓矢1,2,3、藤原 直樹1,2,3、井上 尚子1,2,3、平谷 拓生1,2,3、黒川 宗高1,2、菊地 健彦1,2,3、新田 俊之1,2,3、渡邉 冬馬1,2、藤方 秀成1,2、堀川 剛3、西山 伸彦1,3、八木 英樹1,2,3 (1. 技術研究組合光電子融合基盤技術研究所、2. 住友電気工業株式会社、3. 東京工業大学)
キーワード：
フォトダイオード、InP、シリコンフォトニクス