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[C-3_C-4-31]Cavity構造を用いた石英系平面光波回路光スイッチの低消費電力化

〇柳原 藍1、山口 慶太1、鈴木 賢哉1、森脇 摂1 (1. NTTデバイスイノベーションセンタ)
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キーワード:

光スイッチ、石英系平面光波回路、Cavity SOI