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[C-3_C-4-33]シリコンナイトライド導波路を用いたマッハツェンダー型波長フィルタの高トレランス設計

〇△芹川 美莉1、佐藤 孝憲1、齊藤 晋聖1 (1. 北海道大)
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キーワード:

マッハツェンダー型波長フィルタ、波長分割多重、シリコンナイトライド導波路