[C-6] 電子部品・材料

13:45 〜 14:00

[C-6-01] TiNをドープしたアモルファスカーボン薄膜の諸特性

〇山下 剛¹、矢島 賢土¹、大津 勇人¹、石川 博康¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

半導体薄膜、太陽電池、アモルファスカーボン薄膜