[C-6] 電子部品・材料

14:15 〜 14:30

[C-6-03] 炭化ホウ素/シリコンヘテロ接合の作製と電気特性評価

西田 竜也¹、林 優佑¹、遠田 義晴¹、鈴木 裕史¹、小林 康之¹、〇中澤 日出樹¹ (1. 弘前大)

キーワード：

炭化ホウ素、マグネトロンスパッタリング、シリコン、太陽電池