[C-2B] マイクロ波B

9:15 〜 9:30

[C-2B-19] 300GHz帯導波管給電BCDR法誘電率評価装置

〇柴田 治¹、中島 杜¹ (1. 株式会社 村田製作所)

キーワード：

平衡形円板共振器、BCDR法、誘電率評価

300GHz帯で基板垂直方向の誘電率評価が可能な、BCDR誘電率評価系を構成した。導波管から直接給電する構造とすることで、同軸導波管変換器を省略できる。これにより、測定器と直接接続できると共に、同軸導波管変換器に起因する製作誤差や構造の複雑さといった課題を解決した。
実際に試作した装置により誘電率を評価し、所期の特性を確認した。