[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

9:45 〜 10:00

[C-3_C-4-32] サブミリメートル級 a-Si 装荷型スローライト TFLN 光変調器の設計

〇川原 啓輔¹、三浦 和也¹、堀川 剛¹、Moataz Eissa¹、大礒 義孝¹、矢島 隆雅²、片桐 佳来²、西山 伸彦^1,3 (1. 東京科学大学、2. NGK株式会社、3. 東京科学大学次世代半導体エコシステム共創センター)

キーワード：

光変調器、薄膜ニオブ酸リチウム、スローライト、光集積回路、光電融合

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