[1F01-06] 電力応用・プラズマ・放電

11:00 〜 11:15

[1F01-06-04] C₂H₂を用いた擬火花放電プラズマCVD法によるDLC成膜の基板電圧の影響

*畠山 優斗¹、鎌田 貴晴¹、渡部 政行²、中村 嘉孝¹、向川 政治³ (1. 八戸工業高等専門学校、2. 日本大学量子科学研究所、3. 岩手大学)