Presentation Information
[1C03]ミストCVD法によるグラファイト上アモルファス酸化チタン膜へのLiイオン注入・輸送評価とLIB負極材料への応用
Fumiya Kobayashi1, *Hajime Shirai1,2, Hideki Kurihara3, Haiyan He4, Yoshiaki Yamamoto4, Hirotaka Sone2, Kazuhide Abe4, Toshinori Ono4 (1. Kanagawa Univ. RIE, 2. Saitama Univ., 3. SAITEC, 4. Amaya Co,. Ltd.)
Keywords:
ミストCVD,アモルファス酸化チタン,成膜