講演情報

9:40 〜 10:00

[1C03]ミストCVD法によるグラファイト上アモルファス酸化チタン膜へのLiイオン注入・輸送評価とLIB負極材料への応用

小林史弥¹、*白井肇^1,2、栗原英紀³、何海燕⁴、山本孔明⁴、曽根宏隆²、阿部一英⁴、大野俊典⁴ (1. 神奈川大工研、2. 埼玉大学理工研、3. 埼玉県産業技術総合センター、4. 株式会社天谷製作所)

ミストCVD、アモルファス酸化チタン、成膜