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[1E08]ミストCVD法により形成したアモルファス酸化チタン膜の人工SEI機能評価
*Haiyan He1, Yoshiaki Yamamoto1, Fumiya Kobayashi3, Hideki Kurihara4, Hajime Shirai2,3, Hirotaka Sone2, Toshinori Ono1 (1. Amaya Co., Ltd. (Japan), 2. Saitama Univ. (Japan), 3. Kanagawa Univ. (Japan), 4. SAITEC (Japan))
Keywords:
ミストCVD,アモルファス酸化チタン,ECフリー
