[H-2] Human information processing

12:00 PM - 12:15 PM JST(3:00 AM - 3:15 AM UTC)

[H-2-12] 統計的に抽出された校正パラメータを用いた基板位置合わせ精度の向上

Atsushi Miura¹, Keita Funayama¹, Satoshi Gotoh¹, Katsuharu Okuda¹, 〇Hiroya Tanaka¹ (1. Toyota Central R&D Labs., Inc.)

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Fabrication error

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