[H-2] ヒューマン情報処理

12:00 〜 12:15

[H-2-12] 統計的に抽出された校正パラメータを用いた基板位置合わせ精度の向上

三浦 篤志¹、舟山 啓太¹、後藤 智¹、奥田 勝治¹、〇田中 宏哉¹ (1. 豊田中研)

キーワード：

製造誤差

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