Presentation Information
[Mo-P-63]Effects of Post-Oxidation Annealing in N2 and Ar on the SiO2/4H-SiC interface properties
*Patrick Fiorenza1, Valerio Votadoro1, Salvatore Ethan Panasci1, Salvatore Di Franco1, Marilena Vivona1, Simone Milazzo1, Marco Zignale1, Filippo Giannazzo1, Fabrizio Roccaforte1 (1. CNR-IMM (Italy))