Presentation Information
[P116]CrNに対する GaNの強制的固溶手段の検討
*MIZUNO Yusei1,2, SUZUKI Tsuneo2 (1. ユニオンツール(株)、2. 長岡技科大)
Keywords:
ハードコーティング,遷移金属窒化物,窒化ガリウム,パルスレーザー堆積法
CrNに対してGaNを強制的に固溶させるため、Cr-Ga-N薄膜に新たにOを添加したCr-Ga-N-O薄膜を作製し、その特性評価を行った。Oを添加することでCrNに対するGaNの最大固溶量の増加が認められた。