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12:30 PM - 2:30 PM JST(3:30 AM - 5:30 AM UTC)

[P25]Si基板に成膜したFe-Pt系厚膜磁石の諸特性

*SHIMODA Keito¹, TAKASHIMA Keisuke², YAMASHITA Akihiro², YANAI Takeshi², NAKANO Masaki², FUKUNAGA Hirotoshi² (1. 長崎大工(院生)、2. 長崎大工)

Fe-Pt系厚膜磁石,PLD法,Si基板

本研究では将来的なFe-Pt系厚膜磁石の医療用MEMSへの応用を鑑み，PLD法を用いてSi基板上に数μm厚以上のFe-Pt系厚膜磁石を成膜し，更には熱処理した際の磁気特性や機械的性質等の評価・観察を行った。